Advancing Monolayer 2D NMOS and PMOS Transistor Integration From Growth to van der Waals Interface Engineering for Ultimate CMOS Scaling
In: Symposium on VLSI Technology; (2021-06-13) S. 1-2
Konferenz
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Advancing Monolayer 2D NMOS and PMOS Transistor Integration From Growth to van der Waals Interface Engineering for Ultimate CMOS Scaling
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Autor/in / Beteiligte Person: | Dorow, C. J. ; O'Brien, K. P. ; Naylor, C. H. ; Lee, S. ; Penumatcha, A. ; Hsiao, A. ; Tronic, T. ; Christenson, M. ; Maxey, K. ; Zhu, H. ; Oni, A. ; Alaan, U. S. ; Gosavi, T. A. ; Gupta, A. Sen ; Bristol, R. ; Clendenning, S. ; Metz, M. ; Avci, U. E. |
Quelle: | Symposium on VLSI Technology; (2021-06-13) S. 1-2 |
Veröffentlichung: | 2021 |
Medientyp: | Konferenz |
ISBN: | 978-1-6654-1945-1 (print) |
ISSN: | 2158-9682 (print) |
Sonstiges: |
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