Development of XHV, vibration-free cryopump
In: Vacuum, Jg. 47 (1996), Heft 6, S. 803-805
academicJournal
Zugriff:
Titel: |
Development of XHV, vibration-free cryopump
|
---|---|
Autor/in / Beteiligte Person: | Shiokawa, Y ; Kikuchi, T ; Ichikawa, M |
Link: | |
Zeitschrift: | Vacuum, Jg. 47 (1996), Heft 6, S. 803-805 |
Veröffentlichung: | 1996 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0042-207X (electronic) |
DOI: | 10.1016/0042-207X(96)00151-0 |
Sonstiges: |
|