High quality low thermal budget low cost SiO2 film fabricated by O2 plasma immersion ion implantation

Qin, Shu

In: Thin Solid Films, Jg. 756 (2022-08-31)

academicJournal

Titel:	High quality low thermal budget low cost SiO2 film fabricated by O2 plasma immersion ion implantation
Autor/in / Beteiligte Person:	Qin, Shu
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen?
Zeitschrift:	Thin Solid Films, Jg. 756 (2022-08-31)
Veröffentlichung:	2022
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0040-6090 (electronic)
DOI:	10.1016/j.tsf.2022.139385
Sonstiges:	Nachgewiesen in: ScienceDirect Sprachen: English

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