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Variation of thin film deposition rate on SS 314 with the variation of gas flow rate using CVD

Asaduzzaman Chowdhury, Mohammad ; Muhammad Nuruzzaman, Dewan ; et al.
In: Industrial Lubrication and Tribology, Jg. 63 (2011-09-27), Heft 6, S. 433-439
Online academicJournal

Titel:
Variation of thin film deposition rate on SS 314 with the variation of gas flow rate using CVD
Autor/in / Beteiligte Person: Asaduzzaman Chowdhury, Mohammad ; Muhammad Nuruzzaman, Dewan ; Md.. Khalil, Khaled ; Lutfar Rahaman, Mohammad
Link:
Zeitschrift: Industrial Lubrication and Tribology, Jg. 63 (2011-09-27), Heft 6, S. 433-439
Veröffentlichung: 2011
Medientyp: academicJournal
ISSN: 0036-8792 (print)
DOI: 10.1108/00368791111169016
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: Emerald Insight
  • Sprachen: English

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