Single-source-precursor CVD :alkoxy and siloxy aluminum hydrides
2005
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unknown
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Titel: |
Single-source-precursor CVD :alkoxy and siloxy aluminum hydrides
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Autor/in / Beteiligte Person: | Veith, Michael |
Link: | |
Veröffentlichung: | 2005 |
Medientyp: | unknown |
Sonstiges: |
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