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Super High-Concentration Si and N Doping of CVD Diamond Film by Thermal Decomposition of Silicon Nitride Substrate
In: Materials, Jg. 16 (2023-08-01), Heft 17
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Super High-Concentration Si and N Doping of CVD Diamond Film by Thermal Decomposition of Silicon Nitride Substrate
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Autor/in / Beteiligte Person: | Yang, Yong ; Wang, Yongnian ; Yan, Huaxin ; Cao, Chenyi ; Chen, Naichao |
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Zeitschrift: | Materials, Jg. 16 (2023-08-01), Heft 17 |
Veröffentlichung: | 2023 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 1996-1944 (print) |
DOI: | 10.3390/ma16175849 |
Sonstiges: |
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