A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), Heft 3, S. 188-195
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A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
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Autor/in / Beteiligte Person: | Luo, Hao ; Zhang, Gang ; Carley, L. Richard ; Fedder, Gary K. |
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Zeitschrift: | Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), Heft 3, S. 188-195 |
Veröffentlichung: | 2002 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 1057-7157 (print) |
Sonstiges: |
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