Hot controllers: Tac Huynh of Qualiflow S.A. and-Pierre Nacaratil of Xeis, discuss a compensation technique for in situ environmental temperature effects in thermal mass flow controllers. (semiconductors)

In: Cleanroom Technology, Jg. 8 (2002-07-01), Heft 6, S. 26-28

serialPeriodical

Titel:	Hot controllers: Tac Huynh of Qualiflow S.A. and-Pierre Nacaratil of Xeis, discuss a compensation technique for in situ environmental temperature effects in thermal mass flow controllers. (semiconductors)
Zeitschrift:	Cleanroom Technology, Jg. 8 (2002-07-01), Heft 6, S. 26-28
Veröffentlichung:	2002
Medientyp:	serialPeriodical
ISSN:	1365-5531 (print)
Schlagwort:	General interest News, opinion and commentary
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Gale General OneFile

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.