Dopant incorporation efficiency in CVD silicon carbide epilayers [microform] / D.J. Larkin.

Larkin, D. J.

In: Dopant incorporation efficiency in CVD silicon carbide epilayers [microform] / D.J. Larkin.; (1996)

Online Buch - 1 v.

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Titel:	Dopant incorporation efficiency in CVD silicon carbide epilayers [microform] / D.J. Larkin.
Autor/in / Beteiligte Person:	Larkin, D. J.
Link:	View Record from the Government Printing Office (GPO) (Volltext)
Quelle:	Dopant incorporation efficiency in CVD silicon carbide epilayers [microform] / D.J. Larkin.; (1996)
Reihe:	NASA technical memorandum; 112756 NASA-TM; 112756
Veröffentlichung:	1996
Medientyp:	Buch
Umfang:	1 v.
Schlagwort:	Additives. Epitaxy. Silicon carbides. Vapor deposition.
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Government Publishing Office Catalog Sprachen: English Language: English Publication Information: [Washington, DC : Springfield, Va. : National Aeronautics and Space Administration ; National Technical Information Service, distributor, 1996 Document Type: Monograph Notes: Shipping list no.: 98-0613-M. ; Microfiche. ; [cat:gsg] Other Authors: United States. National Aeronautics and Space Administration.

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