Precise Optical Metrology Using Computational Shear Interferometry and an LCD Monitor as Light Source

Falldorf, Claas ; Simic, Aleksandar ; et al.

In: Fringe 2013: 7th International Workshop on Advanced Optical Imaging and Metrology. 2014, p729-734.

Buch

Precise Optical Metrology Using Computational Shear Interferometry and an LCD Monitor as Light Source Claas Falldorf , Aleksandar Simic , Gerd Ehret , Michael Schulz , Christoph von Kopylow , [...]

Titel:	Precise Optical Metrology Using Computational Shear Interferometry and an LCD Monitor as Light Source
Autor/in / Beteiligte Person:	Falldorf, Claas ; Simic, Aleksandar ; Ehret, Gerd ; Schulz, Michael ; Kopylow, Christoph von ; Bergmann, Ralf B
Quelle:	Fringe 2013: 7th International Workshop on Advanced Optical Imaging and Metrology. 2014, p729-734.
Veröffentlichung:	2014
Medientyp:	Buch
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Gale eBooks Sprachen: English

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