Neue Chrom Silylamide für die CVD-Abscheidung chromhaltiger Dünnfilme
1999
Buch
- 127 p.
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Titel: |
Neue Chrom Silylamide für die CVD-Abscheidung chromhaltiger Dünnfilme
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Autor/in / Beteiligte Person: | Badautschek, Thomas. ; Universität zu Köln. |
Veröffentlichung: | 1999 |
Medientyp: | Buch |
Umfang: | 127 p. |
Sonstiges: |
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