氫氣在熱燈絲CVD沉積多晶矽薄膜成長機制之影響

連水養 ; 吳秉叡 ; et al.

In: 真空科技 / Journal of the Vacuum Society of the R.O.C., Jg. 19:3 (2006-09-01), S. 113-117

academicJournal

Titel:	氫氣在熱燈絲CVD沉積多晶矽薄膜成長機制之影響
Autor/in / Beteiligte Person:	連水養 ; 吳秉叡 ; 毛信元 ; 武東星
Link:	http://www.hyread.com.tw/hypage.cgi?HYPAGE=search/search_detail_new.hpg&dtd_id=3&sysid=00067174
Zeitschrift:	真空科技 / Journal of the Vacuum Society of the R.O.C., Jg. 19:3 (2006-09-01), S. 113-117
Veröffentlichung:	2006
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1017-091X (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: HyRead Journal Sprachen: Chinese, English

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