マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性 : CVDダイヤモンドに対する摩擦摩耗

一平, 田中 ; 幸弘, 坂本

In: 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan, Jg. 66 (2015-05-01), Heft 5, S. 219-223

academicJournal

Titel:	マイクロ波プラズマCVDにより合成した窒化炭素の摩擦摩耗特性 : CVDダイヤモンドに対する摩擦摩耗
Autor/in / Beteiligte Person:	一平, 田中 ; 幸弘, 坂本
Link:	View Record from Japanese Periodicals Index
Zeitschrift:	表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan, Jg. 66 (2015-05-01), Heft 5, S. 219-223
Veröffentlichung:	2015
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0915-1869
Schlagwort:	Carbon Nitride Diamond CVD Tribology Microwave Plasma Subjects: Carbon Nitride; Diamond; CVD; Tribology; Microwave; Plasma
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Japanese Periodical Index - 雑誌記事索引 Sprachen: Japanese

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