ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果

京輔, 田中 ; 俊宏, 奈良 ; et al.

In: 電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan / 電子デバイス研究会 [編], Jg. 2023 (2023), Heft 2-9・11-18, S. 53-56

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Titel:	ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果
Autor/in / Beteiligte Person:	京輔, 田中 ; 俊宏, 奈良 ; 司, 矢ヶ崎 ; 里樹, 伊藤 ; 徹也, 光野 ; 裕子, 小南 ; 和彦, 原
Link:	View Record from Japanese Periodicals Index
Zeitschrift:	電気学会研究会資料. EDD = The papers of technical meeting on electron devices, IEE Japan / 電子デバイス研究会 [編], Jg. 2023 (2023), Heft 2-9・11-18, S. 53-56
Reihe:	電子デバイス研究会発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会ディスプレイに関する技術全般 LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイ,並びに照明などの光源に関するデバイス,部品・材料及び応用技術,並びに評価全般
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	academicJournal
Schlagwort:	ミストCVD (Zn,Mg)O 薄膜成長 mist CVD thin films growth Subjects: ミストCVD; (Zn,Mg)O; 薄膜成長; mist CVD; thin films growth
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Japanese Periodical Index - 雑誌記事索引 Sprachen: Japanese

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