Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討

希祐, 御宿 ; 哲, 大西 ; et al.

In: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], Jg. 40 (2023-11-01), S. 3p

academicJournal

Titel:	Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討
Autor/in / Beteiligte Person:	希祐, 御宿 ; 哲, 大西 ; Tenneti Devi Srujana ; 克之, 町田 ; 智行, 栗岡 ; Tso-Fu Mark Chang ; 正人, 曽根 ; 美博, 三宅 ; 浩之, 伊藤
Link:	View Record from Japanese Periodicals Index
Zeitschrift:	「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], Jg. 40 (2023-11-01), S. 3p
Reihe:	第15回集積化MEMSシンポジウム
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	academicJournal
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Japanese Periodical Index - 雑誌記事索引 Sprachen: Japanese

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