マイクロ波プラズマCVDによるナノウォール構造体の生成条件と電気特性に関する研究

Zewen, Sun ; 正太, 大寳 ; et al.

In: 電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編], Jg. 2024 (2024-01-20), Heft 13-18・20-26・28, S. 59-62

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Titel:	マイクロ波プラズマCVDによるナノウォール構造体の生成条件と電気特性に関する研究
Autor/in / Beteiligte Person:	Zewen, Sun ; 正太, 大寳 ; Arijun, Nahar ; 喜峰, 加藤 ; 君元, 堤井
Link:	View Record from Japanese Periodicals Index
Zeitschrift:	電気学会研究会資料. HV = The papers of technical meeting on high voltage engineering, IEE Japan / 高電圧研究会 [編], Jg. 2024 (2024-01-20), Heft 13-18・20-26・28, S. 59-62
Reihe:	誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会放電・プラズマ・パルスパワー,高電圧,誘電・絶縁材料
Veröffentlichung:	2024
Medientyp:	academicJournal
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Japanese Periodical Index - 雑誌記事索引 Sprachen: Japanese

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