ミストCVD法の薄膜作製におけるファインチャネルおよび衝突混合の効果

敏幸, 川原村 ; 浩之, 西中 ; et al.

In: 材料 / 日本材料学会 [編], Jg. 57 (2008-05-01), Heft 5, S. 481-487

academicJournal

Titel:	ミストCVD法の薄膜作製におけるファインチャネルおよび衝突混合の効果
Autor/in / Beteiligte Person:	敏幸, 川原村 ; 浩之, 西中 ; 静雄, 藤田
Link:	View Record from Japanese Periodicals Index
Zeitschrift:	材料 / 日本材料学会 [編], Jg. 57 (2008-05-01), Heft 5, S. 481-487
Veröffentlichung:	2008
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0514-5163
Schlagwort:	Mist CVD Mist deposition Spray pyrolysis ZnO Zinc acetate Ultrasonic formation of mist Fine-channel Micro-channel Transparent conductive thin films Homogeneous thin film Computational fluid dynamics The uniform flow of mists Subjects: Mist CVD; Mist deposition; Spray pyrolysis; ZnO; Zinc acetate; Ultrasonic formation of mist; Fine-channel; Micro-channel; Transparent conductive thin films; Homogeneous thin film; Computational fluid dynamics; The uniform flow of mists
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Japanese Periodical Index - 雑誌記事索引 Sprachen: Japanese

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