Deep-UV Near Field Exposure for Optical Disk Mastering / 光ディスクマスクリングにおけるDeepUVニアフィールド露光(光記憶および一般)
2003
academicJournal
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Titel: |
Deep-UV Near Field Exposure for Optical Disk Mastering / 光ディスクマスクリングにおけるDeepUVニアフィールド露光(光記憶および一般)
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Autor/in / Beteiligte Person: | Imanishi, Shingo ; 慎悟, 今西 |
Veröffentlichung: | 2003 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 1342-6893 (print) ; 2424-1970 (print) |
DOI: | 10.11485/itetr.27.15.0_25 |
Sonstiges: |
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