次世代ナノCMOSにおける物性制御と不純物
2011
academicJournal
Zugriff:
Titel: |
次世代ナノCMOSにおける物性制御と不純物
|
---|---|
Autor/in / Beteiligte Person: | 理, 中塚 ; 正太郎, 竹内 ; 鎭明, 財満 |
Veröffentlichung: | 2011 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2436-7613 (print) |
DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_460 |
Sonstiges: |
|