Fabrication of STJ for neutron detector on Si-LBO hybrid substrate by surface-activated room-temperature bonding / 表面活性化常温接合によるSi-LBOハイブリッド基板構造を有する中性子検出用STJの作製

Otani, Chiko ; Fujii, Go ; et al.

2016

academicJournal

Titel:	Fabrication of STJ for neutron detector on Si-LBO hybrid substrate by surface-activated room-temperature bonding / 表面活性化常温接合によるSi-LBOハイブリッド基板構造を有する中性子検出用STJの作製
Autor/in / Beteiligte Person:	Otani, Chiko ; Fujii, Go ; Takagi, Hideki ; Myoren, Hiroaki ; Ukibe, Masahiro ; Ohkubo, Masataka ; Naruse, Masato ; Endo, So ; Taino, Tohru ; 雅隆, 大久保 ; 知行, 大谷 ; 雅人, 成瀬 ; 広昭, 明連 ; 雅宏, 浮辺 ; 徹, 田井野 ; 剛, 藤井 ; 壮, 遠藤 ; 秀樹, 高木
Veröffentlichung:	2016
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2436-7613 (print)
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_2141
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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