Variation of Electrical Characteristics of TiN-Gate SOI CMOS Fabricated by Minimal Fab / ミニマルファブを用いたTiNゲートSOI CMOSの電気的特性のばらつき評価

Imura, Fumito ; Koga, Kazuhiro ; et al.

2019

academicJournal

Titel:	Variation of Electrical Characteristics of TiN-Gate SOI CMOS Fabricated by Minimal Fab / ミニマルファブを用いたTiNゲートSOI CMOSの電気的特性のばらつき評価
Autor/in / Beteiligte Person:	Imura, Fumito ; Koga, Kazuhiro ; Nemoto, Kazumasa ; Y.X, Liu ; Kase, Masashi ; Hara, Shiro ; Noda, Shuichi ; Khumpuang, Sommawan ; ソマワン, クンプアン ; 雅, 加瀬 ; 史朗, 原 ; 和博, 古賀 ; 史人, 居村 ; 永シュン, 柳 ; 一正, 根本 ; 周一, 野田
Veröffentlichung:	2019
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2436-7613 (print)
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_2722
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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