GeOI Technology for Monolithic 3D CMOS integration / モノリシック3次元CMOS集積に向けたGe-On-Insulator技術
2019
academicJournal
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Titel: |
GeOI Technology for Monolithic 3D CMOS integration / モノリシック3次元CMOS集積に向けたGe-On-Insulator技術
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Autor/in / Beteiligte Person: | Takagi, Hideki ; Ishii, Hiroyuki ; Uchida, Noriyuki ; Maeda, Tatsuro ; Irisawa, Toshifumi ; Wen Hsin Chang ; Kurashima, Yuichi ; 優一, 倉島 ; 寿史, 入沢 ; 紀行, 内田 ; 辰郎, 前田 ; 文馨, 張 ; 裕之, 石井 ; 秀樹, 高木 |
Veröffentlichung: | 2019 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2436-7613 (print) |
DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3119 |
Sonstiges: |
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