Laser Induced Ohmic Contact Formation(LOC) - Laser-induced High Performance Local Ohmic Electrode Formation for Vertical GaN Devices / 縦型GaNデバイスに向けたレーザ誘起高性能・局所オーミック電極形成法の開発

Kurose, Noriko ; Kawasaki, Teruhisa ; et al.

2019

academicJournal

Titel:	Laser Induced Ohmic Contact Formation(LOC) - Laser-induced High Performance Local Ohmic Electrode Formation for Vertical GaN Devices / 縦型GaNデバイスに向けたレーザ誘起高性能・局所オーミック電極形成法の開発
Autor/in / Beteiligte Person:	Kurose, Noriko ; Kawasaki, Teruhisa ; Araki, Tsutomu ; Aoyagi, Yoshinobu ; 輝尚, 川崎 ; 努, 荒木 ; 克信, 青柳 ; 範子, 黒瀬
Veröffentlichung:	2019
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2436-7613 (print)
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3586
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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