Fabrication and evaluation of tapered superconducting TSV for STJ array detector / STJアレイ検出器用テーパー型超伝導TSVの作製と評価
2020
academicJournal
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Fabrication and evaluation of tapered superconducting TSV for STJ array detector / STJアレイ検出器用テーパー型超伝導TSVの作製と評価
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Autor/in / Beteiligte Person: | Otani, Chiko ; Myoren, Hiroaki ; Aoyagi, Masahiro ; Naruse, Masato ; Ishizuka, Ryo ; Mima, Satoru ; Taino, Tohru ; 知行, 大谷 ; 雅人, 成瀬 ; 広昭, 明連 ; 徹, 田井野 ; 亮, 石塚 ; 覚, 美馬 ; 昌宏, 青柳 |
Veröffentlichung: | 2020 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2436-7613 (print) |
DOI: | 10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1434 |
Sonstiges: |
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