Microstructure of a lattice-matched γ-(AlxGa1-x)2O3 alloy thin film on a spinel substrate grown by mist chemical vapor deposition / スピネル基板上に格子整合して成長したγ-(AlxGa1-x)2O3混晶薄膜の界面の結晶構造解析

Tahara, Daisuke ; Nishinaka, Hiroyuki ; et al.

2020

academicJournal

Titel:	Microstructure of a lattice-matched γ-(AlxGa1-x)2O3 alloy thin film on a spinel substrate grown by mist chemical vapor deposition / スピネル基板上に格子整合して成長したγ-(AlxGa1-x)2O3混晶薄膜の界面の結晶構造解析
Autor/in / Beteiligte Person:	Tahara, Daisuke ; Nishinaka, Hiroyuki ; Yoshimoto, Masahiro ; Horie, Ryuto ; 昌広, 吉本 ; 竜斗, 堀江 ; 大祐, 田原 ; 浩之, 西中
Veröffentlichung:	2020
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2436-7613 (print)
DOI:	10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2343
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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