OS1203 Elastic property evaluation of free-standing Cu/Al_2O_3 multilayer thin film / OS1203 自立Cu/Al_2O_3積層薄膜の弾性特性評価

Masanori, NAKATANI ; Yasunori, HARADA ; et al.

2013

academicJournal

Titel:	OS1203 Elastic property evaluation of free-standing Cu/Al_2O_3 multilayer thin film / OS1203 自立Cu/Al_2O_3積層薄膜の弾性特性評価
Autor/in / Beteiligte Person:	Masanori, NAKATANI ; Yasunori, HARADA ; Yohei, SANADA ; 正憲, 中谷 ; 泰典, 原田 ; 陽平, 眞田
Veröffentlichung:	2013
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2424-2845 (print)
DOI:	10.1299/jsmemm.2013._OS1203-1_
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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