20am2-E4 FIB/EB複合リソグラフィーによるSU-8からのカーボンナノ振動子の作製
2014
academicJournal
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20am2-E4 FIB/EB複合リソグラフィーによるSU-8からのカーボンナノ振動子の作製
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Verantwortlichkeitsangabe: | 20am2-E4 Fabrication of carbon nanomechanical resonator from SU-8 by FIB/EB dual beam lithography |
Autor/in / Beteiligte Person: | Maeda, Etsuo ; Kometani, Reo ; Warisawa, Shin'ichi ; Ishihara, Sunao ; Miyata, Yuto ; 悦男, 前田 ; 伸一, 割澤 ; 雄斗, 宮田 ; 直, 石原 ; 玲皇, 米谷 |
Veröffentlichung: | 2014 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2432-9495 (print) |
DOI: | 10.1299/jsmemnm.2014.6._20am2-E4- |
Sonstiges: |
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