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Electronic Materials Accelerating the Development of Ubiquitous Devices III: Mist Chemical Vapor Deposition: A Tool for Tailoring Ga2O3 Crystal Polymorphism / ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料 3.ミストCVD法によるGa2O3の結晶多形制御技術

Hiroyuki, NISHINAKA ; 浩之, 西中
In: 材料, Jg. 72 (2023-10-15), Heft 10, S. 750
academicJournal

Titel:
Electronic Materials Accelerating the Development of Ubiquitous Devices III: Mist Chemical Vapor Deposition: A Tool for Tailoring Ga2O3 Crystal Polymorphism / ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料 3.ミストCVD法によるGa2O3の結晶多形制御技術
Autor/in / Beteiligte Person: Hiroyuki, NISHINAKA ; 浩之, 西中
Zeitschrift: 材料, Jg. 72 (2023-10-15), Heft 10, S. 750
Veröffentlichung: 2023
Medientyp: academicJournal
ISSN: 0514-5163 (print) ; 1880-7488 (print)
DOI: 10.2472/jsms.72.750
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: J-STAGE
  • Sprachen: Japanese

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