Electronic Materials Accelerating the Development of Ubiquitous Devices III: Mist Chemical Vapor Deposition: A Tool for Tailoring Ga2O3 Crystal Polymorphism / ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料 3.ミストCVD法によるGa2O3の結晶多形制御技術
In: 材料, Jg. 72 (2023-10-15), Heft 10, S. 750
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Electronic Materials Accelerating the Development of Ubiquitous Devices III: Mist Chemical Vapor Deposition: A Tool for Tailoring Ga2O3 Crystal Polymorphism / ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料 3.ミストCVD法によるGa2O3の結晶多形制御技術
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Autor/in / Beteiligte Person: | Hiroyuki, NISHINAKA ; 浩之, 西中 |
Zeitschrift: | 材料, Jg. 72 (2023-10-15), Heft 10, S. 750 |
Veröffentlichung: | 2023 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0514-5163 (print) ; 1880-7488 (print) |
DOI: | 10.2472/jsms.72.750 |
Sonstiges: |
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