Formation Mechanism of Crack and Pore Occurred in a Zirconia Electrolyte Film Having Solid Oxide Fuel Cell Grown by ECR Plasma CVD Method / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学気相成長法を用いて作製した燃料電池用ジルコニア薄膜の亀裂・空隙の形成抑制

Akiyoshi, NAGATA ; Makoto, SEMIZO ; et al.

In: 真空, Jg. 48 (2005), Heft 6, S. 386

academicJournal

Titel:	Formation Mechanism of Crack and Pore Occurred in a Zirconia Electrolyte Film Having Solid Oxide Fuel Cell Grown by ECR Plasma CVD Method / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学気相成長法を用いて作製した燃料電池用ジルコニア薄膜の亀裂・空隙の形成抑制
Autor/in / Beteiligte Person:	Akiyoshi, NAGATA ; Makoto, SEMIZO ; Tomoaki, MIICH ; 真言, 瀬溝 ; 知昭, 見市 ; 昭義, 長田
Zeitschrift:	真空, Jg. 48 (2005), Heft 6, S. 386
Veröffentlichung:	2005
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0559-8516 (print) ; 1880-9413 (print)
DOI:	10.3131/jvsj.48.386
Sonstiges:	Nachgewiesen in: J-STAGE Sprachen: Japanese

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