Recent progress of SOI (silicon-on-insulator) device technology / 最近のSOI (silicon-on-insulator) 素子技術
In: 応用物理, Jg. 70 (2001-02-10), Heft 2, S. 165
academicJournal
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Titel: |
Recent progress of SOI (silicon-on-insulator) device technology / 最近のSOI (silicon-on-insulator) 素子技術
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Autor/in / Beteiligte Person: | Makoto, YOSHIMI ; 信, 吉見 |
Zeitschrift: | 応用物理, Jg. 70 (2001-02-10), Heft 2, S. 165 |
Veröffentlichung: | 2001 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0369-8009 (print) ; 2188-2290 (print) |
DOI: | 10.11470/oubutsu1932.70.165 |
Sonstiges: |
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