Study on Plasma Process-Induced Damage in CMOS Devices / 플라즈마 공정에서 기인한 CMOS 소자의 열화 연구

이정윤 / Lee, Jeong Yun

2009

Hochschulschrift

Titel:	Study on Plasma Process-Induced Damage in CMOS Devices / 플라즈마 공정에서 기인한 CMOS 소자의 열화 연구
Autor/in / Beteiligte Person:	이정윤 / Lee, Jeong Yun
Link:	http://dcollection.skku.edu/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000023223
Veröffentlichung:	2009
Medientyp:	Hochschulschrift
Sonstiges:	Nachgewiesen in: KERIS Theses & Dissertations Sprachen: English File Description: application/pdf Degree: 일반대학원 전자전기컴퓨터공학과, Dissertation

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