Reliability improvement of LTPS and a-IGZO TFT via high pressure H2O post-annealing / 고압 H2O 후 열처리를 통한 a-IGZO 및 LTPS TFT의 신뢰성 향상

유종민 / Yoo, Jongmin

2022

Hochschulschrift

Titel:	Reliability improvement of LTPS and a-IGZO TFT via high pressure H2O post-annealing / 고압 H2O 후 열처리를 통한 a-IGZO 및 LTPS TFT의 신뢰성 향상
Autor/in / Beteiligte Person:	유종민 / Yoo, Jongmin
Link:	https://dcollection.skku.edu/common/orgView/000000173693
Veröffentlichung:	2022
Medientyp:	Hochschulschrift
Sonstiges:	Nachgewiesen in: KERIS Theses & Dissertations Sprachen: English File Description: application/pdf Degree: 일반대학원 전자전기컴퓨터공학과, Dissertation

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