DLC 박막 및 리소그래피 공정을 적용한 트라이볼러지 특성 연구 : Research on Tribology Characteristics Using DLC Thin Film and Lithography Processes

장태환 / T. H. Jang ; 박진혁 / J. H. Park ; et al.

In: 열처리공학회지 / Journal of the Korean Society for Heat Treatment, Jg. 36 (2023-11-30), Heft 6, S. 412-421

academicJournal

Titel:	DLC 박막 및 리소그래피 공정을 적용한 트라이볼러지 특성 연구 : Research on Tribology Characteristics Using DLC Thin Film and Lithography Processes
Autor/in / Beteiligte Person:	장태환 / T. H. Jang ; 박진혁 / J. H. Park ; 김태규 / T. G. Kim
Link:	https://kiss.kstudy.com/ExternalLink/Ar?key=4054666
Zeitschrift:	열처리공학회지 / Journal of the Korean Society for Heat Treatment, Jg. 36 (2023-11-30), Heft 6, S. 412-421
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1225-1070 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Korean Studies Information Service System Sprachen: Korean

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