2.5.2 Plasma-Assisted CVD (PACVD) or Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
In: ASM Handbook, Volume 05A - Thermal Spray Technology 2013; (2013)
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2.5.2 Plasma-Assisted CVD (PACVD) or Plasma-Enhanced CVD (PECVD)
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Autor/in / Beteiligte Person: | Tucker Jr. Robert C. |
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Quelle: | ASM Handbook, Volume 05A - Thermal Spray Technology 2013; (2013) |
Veröffentlichung: | 2013 |
Medientyp: | E-Book |
ISBN: | 978-1-62870-206-4 (print) ; 978-1-61503-996-8 (print) |
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