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Advances in SiC growth using chloride-based CVD

Leone, Stefano ; Linköpings universitet. Institutionen för fysik, kemi och biologi
2010
Online Hochschulschrift

Titel:
Advances in SiC growth using chloride-based CVD
Autor/in / Beteiligte Person: Leone, Stefano ; Linköpings universitet. Institutionen för fysik, kemi och biologi
Link:
Veröffentlichung: 2010
Medientyp: Hochschulschrift
ISBN: 978-91-7393-303-2 (print)
Schlagwort:
  • Tunna skikt (ytfysik)
  • Halvledare
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: Swedish National Bibliography
  • Sprachen: English
  • Degree: Diss. Linköping : Linköpings universitet, 2010

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