Advances in SiC growth using chloride-based CVD
2010
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Hochschulschrift
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Titel: |
Advances in SiC growth using chloride-based CVD
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Autor/in / Beteiligte Person: | Leone, Stefano ; Linköpings universitet. Institutionen för fysik, kemi och biologi |
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Veröffentlichung: | 2010 |
Medientyp: | Hochschulschrift |
ISBN: | 978-91-7393-303-2 (print) |
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