Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers

Yazdanfar, Milan ; Linköpings universitet. Institutionen för fysik, kemi och biologi

2014

Online Hochschulschrift

Zugriff:

Volltext

Titel:	Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers
Autor/in / Beteiligte Person:	Yazdanfar, Milan ; Linköpings universitet. Institutionen för fysik, kemi och biologi
Link:	Volltext
Veröffentlichung:	2014
Medientyp:	Hochschulschrift
ISBN:	978-91-7519-213-0 (print)
Schlagwort:	Silicon carbide Epitaxial layers Chemical vapor deposition
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Swedish National Bibliography Sprachen: English Degree: Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2014

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.