Design, fabrication, and complementary metal-oxide- semiconductor (CMOS) integration of micro-electro- mechanical systems (MEMS) humidity sensors

Saha, Tanmoy

In: Pid: 114228; (2013)

Hochschulschrift

Titel:	Design, fabrication, and complementary metal-oxide- semiconductor (CMOS) integration of micro-electro- mechanical systems (MEMS) humidity sensors
Autor/in / Beteiligte Person:	Saha, Tanmoy
Link:	https://escholarship.mcgill.ca/concern/theses/mw22v930s
Quelle:	Pid: 114228; (2013)
Veröffentlichung:	McGill University, 2013
Medientyp:	Hochschulschrift
Schlagwort:	Engineering - Electronics and Electrical
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Networked Digital Library of Theses & Dissertations Collection: McGill University Document Type: Thesis Rights: All items in eScholarship@McGill are protected by copyright with all rights reserved unless otherwise indicated.

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