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마이크로 전자소자내 박막계면의 파괴인성 정량화를 통한 계면접합력 시험법

이규제 (Gyu-jei Lee) ; 김종진 (Jong-jin Kim) ; et al.
In: 대한기계학회 춘추학술대회 2005-05 2005(5):136-142; Jg. 2005 (2005-05-31) 5, S. 136-141
Konferenz

Titel:
마이크로 전자소자내 박막계면의 파괴인성 정량화를 통한 계면접합력 시험법
Autor/in / Beteiligte Person: 이규제 (Gyu-jei Lee) ; 김종진 (Jong-jin Kim) ; 권동일 (Dongil Kwon)
Link:
Quelle: 대한기계학회 춘추학술대회 2005-05 2005(5):136-142; Jg. 2005 (2005-05-31) 5, S. 136-141
Veröffentlichung: 2005
Medientyp: Konferenz
Sonstiges:
  • Nachgewiesen in: DBPIA
  • Sprachen: Korean

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