마이크로 전자소자내 박막계면의 파괴인성 정량화를 통한 계면접합력 시험법
In: 대한기계학회 춘추학술대회 2005-05 2005(5):136-142; Jg. 2005 (2005-05-31) 5, S. 136-141
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마이크로 전자소자내 박막계면의 파괴인성 정량화를 통한 계면접합력 시험법
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Autor/in / Beteiligte Person: | 이규제 (Gyu-jei Lee) ; 김종진 (Jong-jin Kim) ; 권동일 (Dongil Kwon) |
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Quelle: | 대한기계학회 춘추학술대회 2005-05 2005(5):136-142; Jg. 2005 (2005-05-31) 5, S. 136-141 |
Veröffentlichung: | 2005 |
Medientyp: | Konferenz |
Sonstiges: |
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