Comparative Analysis for Kinematics and Accuracy for High-Precision 3-Axis UVW Stage

이덕영 (Derong Li) ; 신동원 (Dongwon Shin)

In: Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Jg. 35 (2018-09-30), Heft 9, S. 867-873

academicJournal

Titel:	Comparative Analysis for Kinematics and Accuracy for High-Precision 3-Axis UVW Stage
Autor/in / Beteiligte Person:	이덕영 (Derong Li) ; 신동원 (Dongwon Shin)
Link:	https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE07522075
Zeitschrift:	Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Jg. 35 (2018-09-30), Heft 9, S. 867-873
Veröffentlichung:	2018
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1225-9071 (print) ; 2287-8769 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: DBPIA Sprachen: Korean

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