수랭식이 적용된 DBD반응기에서 CF₄ 제거 성능 평가
In: 대한기계학회 춘추학술대회 2023-04 2023(04):363-363; Jg. 2023 (2023-04-30) 04, S. 363-363
Konferenz
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수랭식이 적용된 DBD반응기에서 CF₄ 제거 성능 평가
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Autor/in / Beteiligte Person: | 조동현 (Donghyun Cho) ; 조성권 (Sungkwon Jo) |
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Quelle: | 대한기계학회 춘추학술대회 2023-04 2023(04):363-363; Jg. 2023 (2023-04-30) 04, S. 363-363 |
Veröffentlichung: | 2023 |
Medientyp: | Konferenz |
Sonstiges: |
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