Lighting Residual Gas Analysis methods of PSG Layer Growth for In-situ Monitoring of Pilot-Scale CVD

Munse Kim (김문세) ; Hee-eun Song (송희은) ; et al.

In: 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2023-11 2023(11):254-254; Jg. 2023 (2023-11-30) 11, S. 254-254

Konferenz

Titel:	Lighting Residual Gas Analysis methods of PSG Layer Growth for In-situ Monitoring of Pilot-Scale CVD
Autor/in / Beteiligte Person:	Munse Kim (김문세) ; Hee-eun Song (송희은) ; Sung Eun Park (박성은) ; Yunae Cho (조윤애) ; Yong-Jin Kim (김용진) ; Dohyung Kim (김도형) ; kyung Taek Jeong (정경택) ; Min Gu Kang (강민구) ; Sang Hee Lee (이상희) ; Ka-Hyun Kim (김가현)
Link:	https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE11570116
Quelle:	한국태양에너지학회 학술대회논문집 2023-11 2023(11):254-254; Jg. 2023 (2023-11-30) 11, S. 254-254
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
Sonstiges:	Nachgewiesen in: DBPIA Sprachen: Korean

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.