질소(N₂) 가스 함량에 따른 CNx 박막의 전기적 특성 변화

김대영 ; 박시현 ; et al.

In: 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2023-11 2023(11):66-66; Jg. 2023 (2023-11-30) 11, S. 66-66

Konferenz

Titel:	질소(N₂) 가스 함량에 따른 CNx 박막의 전기적 특성 변화
Autor/in / Beteiligte Person:	김대영 ; 박시현 ; 김상현 ; 김왕렬
Link:	https://www.dbpia.co.kr/journal/articleDetail?nodeId=NODE11687463
Quelle:	한국표면공학회 학술발표회 초록집 2023-11 2023(11):66-66; Jg. 2023 (2023-11-30) 11, S. 66-66
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
Sonstiges:	Nachgewiesen in: DBPIA Sprachen: Korean

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