SOI-based Micro-hotplate Microcalorimeter Gas Sensor With Integrated BiCMOS Transducer

Gardner, J. W. ; Covington, J. A. ; et al.

In: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1660-1663

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Titel:	SOI-based Micro-hotplate Microcalorimeter Gas Sensor With Integrated BiCMOS Transducer
Autor/in / Beteiligte Person:	Gardner, J. W. ; Covington, J. A. ; Udrea, F. ; Dogaru, T. ; Lu, C. C. ; Milne, W. ; Obermeier, Ernst [Ed.]
Quelle:	Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany; (2001) S. 1660-1663
Veröffentlichung:	2001
Medientyp:	E-Book
ISBN:	978-3-540-42150-4 (print) ; 978-3-642-59497-7 (print)
DOI:	10.1007/978-3-642-59497-7_392
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature eBooks

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