Process integration technologies for sub-half micron BiCMOS LSls

Yamazaki, T. ; Imai, K. ; et al.

In: Electrical Engineering: Archiv für Elektrotechnik, Jg. 79 (1996-10-01), Heft 5, S. 329-333

Online academicJournal

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Titel:	Process integration technologies for sub-half micron BiCMOS LSls
Autor/in / Beteiligte Person:	Yamazaki, T. ; Imai, K. ; Yoshida, H. ; Kinoshita, Y. ; Suzuki, H.
Link:	View record at Springer (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen?
Zeitschrift:	Electrical Engineering: Archiv für Elektrotechnik, Jg. 79 (1996-10-01), Heft 5, S. 329-333
Veröffentlichung:	1996
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0948-7921 (print) ; 1432-0487 (print)
DOI:	10.1007/bf01235873
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English Alternate Title: Technologien der Prozeßintegration für Sub-half Micron BiCMOS LSls

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