Thin Film Piezoelectrics for MEMS
In: Journal of Electroceramics, Jg. 12 (2004), Heft 1-2, S. 7-17
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academicJournal
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Thin Film Piezoelectrics for MEMS
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Autor/in / Beteiligte Person: | Trolier-McKinstry, S. ; Muralt, P. |
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Zeitschrift: | Journal of Electroceramics, Jg. 12 (2004), Heft 1-2, S. 7-17 |
Veröffentlichung: | 2004 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 1385-3449 (print) ; 1573-8663 (print) |
DOI: | 10.1023/b:jecr.0000033998.72845.51 |
Sonstiges: |
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