CMOS-compatible wafer-scale Si subulate array for superb switching uniformity of RRAM with localized nanofilaments

Zhang, Ying ; Zhao, Xiaolong ; et al.

In: Science China Materials, Jg. 65 (2022-06-01), Heft 6, S. 1623-1630

Online academicJournal

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Titel:	CMOS-compatible wafer-scale Si subulate array for superb switching uniformity of RRAM with localized nanofilaments
Autor/in / Beteiligte Person:	Zhang, Ying ; Zhao, Xiaolong ; Ma, Xiaolan ; Liu, Yu ; Zhou, Xuanze ; Zhang, Meiyun ; Xu, Guangwei ; Long, Shibing
Link:	View record at Springer (Volltext)
Zeitschrift:	Science China Materials, Jg. 65 (2022-06-01), Heft 6, S. 1623-1630
Veröffentlichung:	2022
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2095-8226 (print) ; 2199-4501 (print)
DOI:	10.1007/s40843-021-1956-9
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Springer Nature Journals Sprachen: English Alternate Title: CMOS兼容的晶圆级硅锥阵列局域化细丝形成以实现极佳阻变存储器均一性

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