Thermodynamic Modeling of the CVD Process in the Ni–Si–C–H System
In: Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2024-03-11, S. 1-5
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Titel: |
Thermodynamic Modeling of the CVD Process in the Ni–Si–C–H System
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Autor/in / Beteiligte Person: | Shestakov, V. A. ; Kosinova, M. L. |
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Zeitschrift: | Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2024-03-11, S. 1-5 |
Veröffentlichung: | 2024 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 0036-0236 (print) ; 1531-8613 (print) |
DOI: | 10.1134/s0036023623602441 |
Sonstiges: |
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