저온분사법에 의해 제조된 Cu-Ga 타겟의 스퍼터링 특성평가
In: 한국분말야금학회지, Jg. 23 (2016-02-28), Heft 1, S. 21-25
academicJournal
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저온분사법에 의해 제조된 Cu-Ga 타겟의 스퍼터링 특성평가
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Autor/in / Beteiligte Person: | 조영지 / Youngji Cho ; 유정호 / Jung Ho Yoo ; 양준모 / Jun-Mo Yang ; 박동용 / Dong-Yong Park ; 김종균 / Jong-Kyun Kim ; 최강보 / Gang-Bo Choi ; 장지호 / Jiho Chang |
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Zeitschrift: | 한국분말야금학회지, Jg. 23 (2016-02-28), Heft 1, S. 21-25 |
Veröffentlichung: | 2016 |
Medientyp: | academicJournal |
ISSN: | 2287-8173 (print) ; 1225-7591 (print) |
Sonstiges: |
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