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    Materials for mechanical and optical microsystems: symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A
    ed.: Michael L. Reed ..
    Pittsburgh, Pa.: MRS, Materials Research Soc, 1997
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Entwicklungen und Anwendungen der Mikro- und Feinwerktechnik: Vorträge der GMF-Fachtagung am 22. Januar 1993 anläßlich des VDE-Jubiläumskongresses '93 in Berlin
    Veranst.: VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik (GMF). Wiss. Tagungsleitung: H. J. Todt
    Berlin [u.a.]: vde-Verl, 1993
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Micro-system technologies 90
    1st International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanic Systems and Components, Berlin 10 - 13 September 1990. Herbert Reichl (ed.)
    Berlin [u.a.]: Springer, 1990
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Microsensors
    ed. by Richard S. Muller ..
    New York: IEEE Pr, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Integrated micro-motion systems: micromachining, control and applications ; a collection of contributions based on lectures presented at the Third Toyota Conference, Aichi, Japan, 22 - 25 October 1989
    ed. by Fumio Harashima
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1990
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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