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    Sensor technology and devices
    ed. by Ljubisa Ristic
    Boston [u.a.]: Artech House, 1994
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Mobil mit Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik: Vorträge der GMM-Fachtagung anläßlich des VDE-Kongresses '98 am 21. und 22. Oktober 1998 in Stuttgart
    Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wiss. Tagungsleitung: Herbert Reichl
    Berlin [u.a.]: VDE-Verl, 1998
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices ; [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies, Bad Windsheim, Germany, September 21 - October 2, 1992]
    ed. by Orlando Auciello ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer, 1993
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
    Anton Heuberger (Hrsg.)
    Berlin [u.a.]: Springer, 1989
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik: Verfahren, Werkstoffe, Gestaltung
    hrsg. von Werner Krause. [Autoren: Gerald Gerlach ...]
    München [u.a.]: Hanser, 1996
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Microsensors
    ed. by Richard S. Muller ..
    New York: IEEE Pr, 1991
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Precision sensors, actuators and systems
    ed. by H. S. Tzou ..
    Dordrecht [u.a.]: Kluwer Acad. Publ, 1992
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Feinwerktechnik in Konstruktion und automatisierter Fertigung: Vorträge d. FWT-Fachtagung anlässl. d. VDE-Kongresses '86 am 14. u. 15. Oktober 1986 in Nürnberg
    Veranst. VDI/VDE-Ges. Feinwerktechnik (FWT). Wiss. Tagungsleitung: R. Feiertag
    Berlin [u.a.]: VDE-Verlag, 1986
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
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    Fertigungsverfahren in der Gerätetechnik
    hrsg. von Franz Grünwald. [Autoren: Horst Beyer ...]
    2., stark bearb. Aufl.. - München [u.a.]: Hanser, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Fertigungsverfahren in der Gerätetechnik
    [Autoren: Jürgen Barkusky ...]. Hrsg. von Franz Grünwald
    1. Aufl.. - Berlin: Verl. Technik, 1980
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Micromechanics and MEMS: classic and seminal papers to 1990
    ed. by William S. Trimmer
    Piscataway, NJ: IEEE Press, 1997
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Micro-system technologies 92: 3rd International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanic Systems and Components, Berlin, October 21 - 23, 1992
    [organized by AMK Berlin, Ausstellungs-Messe-Kongress-GmbH ...] Herbert Reichl (ed.)
    Berlin [u.a.]: vde-Verl, 1992
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Entwicklungen und Anwendungen der Mikro- und Feinwerktechnik: Vorträge der GMF-Fachtagung am 22. Januar 1993 anläßlich des VDE-Jubiläumskongresses '93 in Berlin
    Veranst.: VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik (GMF). Wiss. Tagungsleitung: H. J. Todt
    Berlin [u.a.]: vde-Verl, 1993
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Micromachining and micropackaging of transducers
    Clifford D. Fung ..
    Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Materials for mechanical and optical microsystems: symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A
    ed.: Michael L. Reed ..
    Pittsburgh, Pa.: MRS, Materials Research Soc, 1997
    Konferenzschrift, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Mikrosystemtechnik
    [Chefred.: Albrecht Kunkel (verantwortlich für den Inhalt)]
    Heidelberg: Spektrum der Wissenschaft Verl.-Ges, 1996
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Gerätekonstruktion
    Hrsg.: Werner Krause
    2., stark überarb. Aufl.. - Heidelberg: Hüthig, 1987
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Grundlagen der Mikrosystemtechnik: mit 150 Tafeln
    hrsg. von Gerald Gerlach ..
    München [u.a.]: Hanser, 1997
    Lehrbuch, Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
    Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ..
    Düsseldorf: VDI-Verl, 1993
    Sammelwerk, Gedruckte Ressource
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Microsystem technology in chemistry and life science
    with contributions by R. C. Anderson ... Vol. ed.: A. Manz ..
    Berlin [u.a.]: Springer, 1998
    Aufsatzsammlung, Sammelwerk, Gedruckte Ressource

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